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一、样品要求：
(1)本仪器不接收易挥发、易吸水、易腐蚀性样品，磁性物质送样时必须告知。
(2)块状样品高度需低于3.8mm，高度在1.5~3.8mm之间时，大小需控制在10mm×10mm以内，高度在1.5mm以下时，大小可稍微增大，尽量控制样品大小越小越好。
二、主要规格及技术指标
1、X射线源
(1) 靶：双阳极Al/Mg靶、单色化Al靶
(2) 能量分辨率：
0.43 eV/（Ag 3d5/2）
0.82 eV/（C 1s）
(3) 最小分析区域（收谱）20μm
(4) 灵敏度：
4Mcps@1.0eV(650μm)
1.8Mcps@0.6eV(650μm)
700kcps@0.5eV (650μm)
(5) 成像空间分辨率：小于1 μm
2、能量扫描范围及最小步长：
6meV (0~1,500eV)
12meV (0~3,000eV)
24meV (0~5,000eV)
3、最大分析面积 8mm
三、主要功能及特色
主要用于化学、材料、能源、电子、机械等领域，可测试粉末、块状、纤维、薄膜等样品；
分析内容包括表面元素组成及化学态定性定量分析、表面元素深度分析、表面元素分布分析等；
能够检测元素周期表中除H和He以外所有的元素；
真空系统性能5×10–10mbar。
