场发射扫描电镜（Zeiss Sigma300）

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一、主要规格及技术指标

二次电子分辨率：0.7nm@15kV；1.1nm@1KV；

放大倍率：10X～1,000,000X。

样品台行程：不窄于以下参数：X：125mm；Y：125mm；R：360；T：－10～90°；Z：50mm。

二、主要功能及特色

采用蔡司Gemini镜筒技术，可以测试部分磁性样品。（必须提前联系管理员）

三、主要附件及配置

牛津能谱