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一、主要规格及技术指标
1. 离子源种类：液态Ga离子源；
2. 离子源加速电压：0.5kV - 30 kV
3. 束流强度：1pA - 65nA
4. 电子束分辨率：0.6nm @ 15kV；0.7nm @ 1kV。
5. 交叉点工作距离：4mm。
6. 电子束加速电压：1kV－30kV。
7. 样品室内径：不小于 370mm。
二、主要功能及特色
1. 高分辨率电子束
2. 高切割精度离子束
3. 二次电子/背散射探头
4. 气体注入系统：Pt、C、W等
三、主要附件及配置
1. 能谱仪EDS
2. 电子背散射衍射仪EBSD
