离子减薄仪

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一、样品要求

1.不接受磁性样品。(含铁钴镍)

2.对于隐瞒样品信息而造成设备故障或损坏的,中心要求用户或用户课题组承担相应的维修费和误工费。

二、主要规格及技术指标

1.两支独立可调电磁聚焦离子枪

2.同时具备高能量(快速抛光)和低能量(精细修复)

3.超宽加速电压范围:100eV 到 10kV,不同加速电压下,离子束束斑均保持最细最优束斑状态

4.每支离子枪均配备对应法拉第杯进行离子束直接探测

5.自动独立气源控制

6.减薄角度范围:-15°到 +10°连续可调

7.样品载台X-Y可调,可根据需要调整样品减薄位置

8.具备原位实时观察及记录减薄过程功能

9.样品可360°连续旋转或摇摆,离子束自动避让样品夹

10.可通过时间、温度以及透光性自动停止

11.可选液氮冷台配置,去除热效应对样品的损伤

三、主要功能及特色

适用于金属、陶瓷等耐离子束样品的减薄、清洁、抛光等。

四、主要附件及配置

离子减薄技术通常采用惰性气体氩,通过将氩气离子化后,在电场加速作用下轰击样品表面对样品进行减薄,最终实现样品达到透射电镜所需的厚度,提供可靠、精准、高性能的样品制备能力。